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최은석, 최승욱, 김안순, 김관용, 염희중, 윤민영, 홍성완, 김정형, 김동욱, 이효창, "극자외선 유도 수소 플라즈마에 의한 물질 손상 연구", 제 64회 한국진공학회 동계정기학술대회, 2023. 2.
MMIC연구실
23.06.18
조회수 327
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최은석, 최승욱, 김안순, 김관용, 염희중, 윤민영, 홍성완, 김정형, 김동욱, 이효창, "수소 플라즈마에 의한 EUV 물질 손상의 정량적 평가 시스템", 제 63회 한국진공학회 하계정기학술대회, 2022. 8.
MMIC연구실
22.08.20
조회수 308
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